微波光氧催化技術(shù)就是在工業(yè)廢氣處理紫外光的作用下發(fā)生了化學(xué)反應(yīng)。大自然中常見光化學(xué)反應(yīng)需要空氣中的分子吸收特定波長的電磁輻射激產(chǎn)生分子激發(fā)態(tài)，然后發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成了新的物質(zhì)或者變成引發(fā)熱反應(yīng)的中間化學(xué)產(chǎn)物。光化學(xué)反應(yīng)的活化能來源于光子的能量而紫外光則是利用特制的紫外線光束照射有機廢氣VOC，例如說裂解苯、甲苯、二甲苯等的分子鍵使之成為游離狀態(tài)的污染物分子。同時在微波光氧催化技術(shù)的紫外線光束的照射下分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，再由其與氧分子結(jié)合進(jìn)而產(chǎn)生臭氧。

　　作為高氧化劑的臭氧能夠?qū)撼魵怏w及其它刺激性異味有極強的清除效果， 工業(yè)廢氣處理。并且通過納米催化床能夠?qū)⒍喾N催化劑共同作用從而對有機廢氣進(jìn)行一個無害化的轉(zhuǎn)化，轉(zhuǎn)化的產(chǎn)物為二氧化碳和水，整個過程中能夠有效地減少污染物的危害性。